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阿爾卡特A1503H產品優勢

A系列多級干式真空泵，結合羅茨與爪型轉子吸氣原理，通過多級轉子的優化組合，大限度利用了多級羅茨干泵與爪型干式真空泵的優勢，從而在較寬的壓力范圍內獲得較大的實際抽速，地實現了潔凈真空環境的獲得。

1、高清潔度的真空環境

2、整機高可靠性

3、穩定的運轉性能

4、自適應智能控制

5、工藝安全性

6、客戶服務

產品原理

(真空泵維修阿爾卡特A1503H真空泵維修)多級干式真空泵采用了羅茨轉子與爪型轉子組合的結構，充分利用了羅茨轉子在低壓區抽氣，爪型轉子在高壓區抽氣的特點，同時融合了爪型轉子抽氣通道短，壓縮氣體產生熱量更高的特點，其性能相對于傳統單純爪型或單純羅茨真空泵更具優勢。

應用：

集成電路、LED領域、太陽能電池，可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過程，也可用于PVD、刻蝕，多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過程。

其他應用：

真空鍍膜系統（玻璃鍍膜、精密光學等）;

真空冶金（回火和退火、鋼脫氣，表面處理熔化，精煉，鑄造和焊接等）;

真空包裝、食品、化工、醫藥、電機制造等工業蒸餾、蒸發、干燥等

阿爾卡特真空泵常見問題有；

1、真空度不足

2、漏油

3、真空泵卡死

4、燥音大

5、電機發熱（真空泵溫度高）